Xe泵
| 型号 | CP400Xe | CP500Xe | CP630Xe | CP1250Xe | |
极限 压力 | 10-7Pa | 10-7Pa | 10-7Pa | 10-7Pa | |
| 抽速 | ForXe | 6700 | 10500 | 18000 | 65000 |
| ForH20 | 18200 | 28500 | 46000 | 180000 | |
| ForN2 | 6800 | 10500 | 18000 | 60000 | |
| ForAr | 5800 | 7300 | 13500 | 57000 | |
| ForH2 | 6400 | 7800 | 14000 | 60000 | |
| 容量 | ForAr | 2500 | 5500 | 7800 | 9000 |
| ForH2 | 25 | 38 | 50 | 150 | |
| ForXe | 7500 | 9000 | 12000 | ||
| 二级降温至20K时间 | ＜180 | ＜210 | ＜210 | ＜300 |
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