【概要描述】11月21日，科技部“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项（简称02专项）实施管理办公室组织专家组来万瑞公司进行02专项低温泵的现场测试验收。测试专家组由02专项实施管理办公室马振宇任组长，专家有清华大学教授朱煜、中芯国际集成电路制造（北京）有限公司技术专家葛军、北京中科信电子装备有限公司副总谢均宇组成。

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• 发布时间：2018-12-13 15:42
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