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新进展!万瑞公司半导体专用低温泵顺利配套应用!
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新进展!万瑞公司半导体专用低温泵顺利配套应用!

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  • 发布时间:2020-12-31 13:00
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新进展!万瑞公司半导体专用低温泵顺利配套应用!

【概要描述】万瑞公司在半导体装备核心零部件的国产化替代上,研制的半导体专用低温泵产品已批量交付客户数十台,分别配套应用于PVD、离子注入机、分子束外延等半导体核心装备上,实现国产化替代。

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