【概要描述】万瑞公司在半导体装备核心零部件的国产化替代上，研制的半导体专用低温泵产品已批量交付客户数十台，分别配套应用于PVD、离子注入机、分子束外延等半导体核心装备上，实现国产化替代。

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• 发布时间：2020-12-31 13:00
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