400口径

分类：标准口径低温泵
发布时间：2019-08-27 00:00:00
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概要:

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　　低温泵(又称冷泵)是一种利用低温冷凝和低温吸附原理抽气的超高真空获得设备。广泛应用于半导体、集成电路、光学镀膜、太阳能电池板、平板显示器、光电子器件和真空电子器件的制造工艺过程,是集成电路制造工艺设备PVD、离子注入的关键零部件之一。低温泵也用于各种空间环境模拟、高能物理、加速器、真空校准检测等真空应用设备中。

　　02专项成果：CP系列智能化低温泵、一台氦压缩机带多台低温泵的泵组系统。

400口径低温泵

标准400口径低温泵性能参数表

参数名称		400口径
型号 Model	弯泵	———
	直泵	CP400/ICP400
接口法兰Inlet Flange (可根据用户要求定制)		CF 400
		ISO 400
		ANSI 16 in (NW )
极限压力Ultimate Pressure		10-7Pa
抽速Pumping Speeds (l/s)	For H2O	16000
	For Air	6000
	For H2	9000
	For Ar	5000
通导 Throughput（Torr.l/s）	For Ar	11.5
抽气容量Capacity （Std.l)	For Ar	2500
	For H2	25
空载降温时间 Cool Down Time (min)		180