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超高真空冷泵研发及产业化顺利通过02专项正式验收

超高真空冷泵研发及产业化顺利通过02专项正式验收

  • 分类:公司新闻
  • 发布时间:2019-02-02 15:45
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超高真空冷泵研发及产业化顺利通过02专项正式验收

【概要描述】2019年1月26日,科技部在北京组织召开国家02专项(极大规模集成电路制造装备及成套工艺)“国产集成电路装备零部件量产应用工程”项目综合绩效评价会议,科技部重大专项司、02专项实施管理办公室领导出席了会议,来自相关高校及企业的20多位技术专家和财务专家担任专项评审专家。公司副总经理兼02专项课题负责人武义锋、

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