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1250口径
1250口径
- 分类：大口径低温泵
- 发布时间：2019-08-27 00:00:00
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低温泵(又称冷泵)是一种利用低温冷凝和低温吸附原理抽气的超高真空获得设备。广泛应用于半导体、集成电路、光学镀膜、太阳能电池板、平板显示器、光电子器件和真空电子器件的制造工艺过程,是集成电路制造工艺设备PVD、离子注入的关键零部件之一。低温泵也用于各种空间环境模拟、高能物理、加速器、真空校准检测等真空应用设备中。
02专项成果：CP系列智能化低温泵、一台氦压缩机带多台低温泵的泵组系统。
1250口径低温泵
标准1250口径低温泵性能参数表
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参数名称 |
1250口径 |
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|
型号 Model |
CP1250LN |
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接口法兰Inlet Flange |
ISO 1250 |
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极限压力Ultimate Pressure |
10-7Pa |
|
|
抽速Pumping Speeds (l/s) |
For H2O |
180000 |
|
For Air/N2 |
57000 |
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|
For H2 |
60000 |
|
|
For Ar |
47000 |
|
|
通导 Throughput（Torr.l/s） |
For Ar |
18 |
|
抽气容量Capacity （Std.l) |
For Ar |
9000 |
|
For H2 |
150 |
|
|
空载降温时间 Cool Down Time (min) |
330 |
|
|
运行工作液氮耗量 LN2 Consumption（l/hr） |
20 |
|
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