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1200口径

制冷机与真空泵

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1200口径

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概要:
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  低温泵(又称冷泵)是一种利用低温冷凝和低温吸附原理抽气的超高真空获得设备。广泛应用于半导体、集成电路、光学镀膜、太阳能电池板、平板显示器、光电子器件和真空电子器件的制造工艺过程,是集成电路制造工艺设备PVD、离子注入的关键零部件之一。低温泵也用于各种空间环境模拟、高能物理、加速器、真空校准检测等真空应用设备中。

  02专项成果:CP系列智能化低温泵、一台氦压缩机带多台低温泵的泵组系统。

 

1200口径低温泵

 

低温泵

 

标准1200口径低温泵性能参数表

 

参数名称

1200口径

型号 Model

CP1200LN

接口法兰Inlet Flange
(ISO,ANSI or customized)

ISO 1188

极限压力Ultimate Pressure

10-7Pa

抽速Pumping Speeds (l/s)

For H2O

150000

 

For Air/N2

45000

 

For H2

34000

 

For Ar

32000

通导 Throughput(Torr.l/s)

For Ar

18

抽气容量Capacity (Std.l)

For Ar

7000

 

For H2

80

空载降温时间 Cool Down Time (min)

240

运行工作液氮耗量 LN2 Consumption(l/hr)

16

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