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300口径

制冷机与真空泵

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300口径

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概要:
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  低温泵(又称冷泵)是一种利用低温冷凝和低温吸附原理抽气的超高真空获得设备。广泛应用于半导体、集成电路、光学镀膜、太阳能电池板、平板显示器、光电子器件和真空电子器件的制造工艺过程,是集成电路制造工艺设备PVD、离子注入的关键零部件之一。低温泵也用于各种空间环境模拟、高能物理、加速器、真空校准检测等真空应用设备中。

  02专项成果:CP系列智能化低温泵、一台氦压缩机带多台低温泵的泵组系统。

 

300口径低温泵

 

低温泵

 

标准300口径低温泵性能参数表

 

参数名称

300口径

型号 Model

弯泵

CP300N/ICP300N

 

直泵

CP300/ICP300

接口法兰Inlet Flange
(可根据用户要求定制)

CF 300(320)

 

ISO 300(320)

 

ANSI 12in (NW )

极限压力Ultimate Pressure

10-7Pa

抽速Pumping Speeds (l/s)

For H2O

9500

 

For Air

3200

 

For H2

5400

 

For Ar

2800

通导 Throughput(Torr.l/s)                  

For Ar

10

抽气容量Capacity (Std.l)

For Ar

2000

 

For H2

22

空载降温时间 Cool Down Time (min)

150

 

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