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250口径
250口径
- 分类：标准口径低温泵
- 发布时间：2019-08-27 00:00:00
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低温泵(又称冷泵)是一种利用低温冷凝和低温吸附原理抽气的超高真空获得设备。广泛应用于半导体、集成电路、光学镀膜、太阳能电池板、平板显示器、光电子器件和真空电子器件的制造工艺过程,是集成电路制造工艺设备PVD、离子注入的关键零部件之一。低温泵也用于各种空间环境模拟、高能物理、加速器、真空校准检测等真空应用设备中。
02专项成果：CP系列智能化低温泵、一台氦压缩机带多台低温泵的泵组系统。
250口径低温泵
标准250口径低温泵性能参数表
|
参数名称 |
250口径 |
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|
型号 Model |
弯泵 |
CP250N/ICP250N |
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直泵 |
CP250/ICP250 |
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接口法兰Inlet Flange |
CF 250 |
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ISO 250 |
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ANSI 10in (NW ) |
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极限压力Ultimate Pressure |
10-7Pa |
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抽速Pumping Speeds (l/s) |
For H2O |
6500 |
|
|
For Air |
2200 |
|
|
For H2 |
3200 |
|
|
For Ar |
1800 |
|
通导 Throughput（Torr.l/s） |
For Ar |
9 |
|
抽气容量Capacity （Std.l) |
For Ar |
1600 |
|
|
For H2 |
16 |
|
空载降温时间 Cool Down Time (min) |
100 |
|
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